小分子質譜儀-安益譜小分子氣體分析質譜RGA6500儀器特點介紹
小分子氣體分析質譜儀 RGA6500 是一款高性能的殘余氣體分析儀，專為高真空環(huán)境下的氣體成分分析而設計。以下是該儀器的詳細介紹：
儀器特點
- 全金屬不銹鋼材質：采用全金屬不銹鋼材質作為質譜腔體，確保儀器的耐用性和穩(wěn)定性，同時減少污染和背景信號。
- 高溫操作能力：腔體最高溫度可達 200℃，適用于高溫環(huán)境下的氣體分析，能夠有效去除腔體內(nèi)的污染物，提高分析的準確性。
- 高效真空系統(tǒng)：配備無油隔膜泵和高性能渦輪分子泵，提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境，確保質譜分析的高靈敏度和高分辨率。
- 全量程真空規(guī)：配備全量程真空規(guī)，實時監(jiān)測儀器的真空狀態(tài)，確保在最佳真空條件下進行分析，提高數(shù)據(jù)的可靠性。
技術優(yōu)勢
- 高靈敏度：采用高性能的電子倍增器和離子源，確保對低濃度氣體成分的高靈敏度檢測。
- 寬質量范圍：質量范圍覆蓋 1-200 amu，能夠分析從小分子氣體到較大分子的多種氣體成分。
- 快速掃描：快速掃描技術能夠在短時間內(nèi)完成氣體成分的全譜分析，適合動態(tài)環(huán)境下的實時監(jiān)測。
- 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：配備先進的數(shù)據(jù)處理軟件，支持實時數(shù)據(jù)采集、分析和報告生成，提高工作效率。
應用領域
- 真空系統(tǒng)監(jiān)測：用于監(jiān)測真空系統(tǒng)的殘余氣體成分，幫助優(yōu)化真空系統(tǒng)性能，確保高真空環(huán)境。
- 材料研究：分析材料在真空環(huán)境下的放氣特性，評估材料的真空兼容性。
- 半導體制造：監(jiān)測半導體制造過程中的氣體雜質，確保工藝環(huán)境的純凈度。
- 航空航天：用于航空航天領域的真空環(huán)境監(jiān)測和材料測試，確保設備在高真空條件下的可靠性。
- 科學研究：在物理、化學和材料科學等領域的研究中，用于分析氣體成分和反應產(chǎn)物。
總結
RGA6500 小分子氣體分析質譜儀以其全金屬不銹鋼材質、高溫操作能力、高效真空系統(tǒng)和全量程真空規(guī)等優(yōu)勢，為高真空環(huán)境下的氣體成分分析提供了可靠的解決方案。無論是在真空系統(tǒng)監(jiān)測、材料研究、半導體制造、航空航天還是科學研究中，RGA6500 都能夠提供高精度、高靈敏度的氣體分析，助力用戶在各自領域取得突破性進展。
